各國規範

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無塵室起源於1960年代美國聯邦標準Fed-Std-209E,之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業所接受。90年代後期因應全球化趨勢,ISO-14644應運而生。隨著工業的日益發展,在歐洲與日本也有各自規範,但目前國際仍以「ISO-14644-1 」及美國「Fed-Std-209E」為主流,茲列舉如下:

ISO-14644-1

每立方公尺等於或大於下述粒徑之微粒的最大容許量
等級 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1.0μm 5.0μm
ISO Class 1 10 2
ISO Class 2 100 24 10 4
ISO Class 3 1,000 237 102 35 8
ISO Class 4 10,000 2,370 1,020 352 83
ISO Class 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO Class 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO Class 7 352,000 83,200 2,930
ISO Class 8 3,520,000 832,000 29,300
ISO Class 9 35,200,000 8,320,000 293,000
NOTE Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.
Equation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒濃度,N 是潔淨度,D 是粒徑

美國聯邦標準209E

工業用潔淨室
潔淨度
微塵粒子粒徑
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 0.5μm
累積粒子數 累積粒子數 累積粒子數 累積粒子數 累積粒子數
SI Class (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3)
M1   350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283
M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00
M2   3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83
M2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0
M3   35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3
M3.5 100 26,500 750 10.600 300 3,530 100
M4   75,700 2,140 30,900 875 10,000 283
M4.5 1000 35,300 1,000 247 7.00
M5   100,000 2,830 618 17.5
M5.5 10,000 353,000 10,000 2,470 70.0
M6   1,000,000 28,300 6,180 175
M6.5 100,000 3,530,000 100,00 24,700 700
M7   10,000,000 283,000 61,800 1,750

日本標準 JIS B 9920

每立方公尺等於或大於下述粒徑之微粒的最大容許量
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 05μm
10 2
100 24 10 4
1,000 237 102 35 8
10,000 2,370 1,020 352 83
100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
352,000 83,200 2,930
3,520,000 832,000 29,300
35,200,000 8,320,000 293,000

英國標準 BS 5295

等級 每立方公尺等於或大於下述粒徑之微粒的最大容許量
0.5μm 1μm 5μm 10μm 25μm
Class 1 3,000 0 0 0
Class 2 300,000 2,000 30
Class 3 1,000,000 20,000 4,000 300
Class 4 200,000 40,000 4,000

世界主要無塵室等級對照

國際標準 無塵等級
ISO 14644-1 ISO 3 ISO 4 ISO 5 ISO 6 ISO 7 ISO 8
美國FS 209E Class 1 Class 10 Class 100 Class 1000 Class 10000 Class 100000
英國BS 5295 C D E/F G/H J K
德國 VD I.2083 1C 2 3 4 5 6
澳洲 AS 1386 0.035 0.35 3.5 35 350 3500
法國NOR X44101 4000 4,000 4,000,000
Grade
(藥品潔淨區等級)
A/B C D